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Sistemas de deposición en capa fina

Cajas de guantes con evaporadores integrados, spin coaters, impresoras de chorro de tinta.

Descripción

Los sistemas de deposición en capa fina de MBraun están diseñados para uso en investigación y en aplicaciones industriales a gran escala, ya que ofrecen sistemas estándar o diseño cliente.

Para crear multi-deposiciones en capa fina se necesitan unas condiciones de atmósfera ultra-pura (<1ppm de oxígeno y humedad) y que las partículas finas sean eliminandas de una forma rápida, segura y continua. Los sistemas evaporadores OLED/PLED de MBraun se han diseñado para esta finalidad, eliminando las deposiciones intermedias causadas por fisi o quimi-sorción.

Estos equipos consiguen de forma rutinaria capas con uniformidades de <5% en aplicaciones de fabricación de semiconductores. El rango de productos va desde sistemas manuales a completamente automatizados, en tamaños de 50 a 300mm.

Para más información pinche aquí.

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