Descripción
El sistema Alphacen 300 AFM tiene una plataforma de análisis de muestra que puede moverse 300 mm x 300 mm en XY. A petición, la plataforma puede ser modificada para manejar un rango mayor en X (hasta 500 mm). El recorrido de la etapa Z de 50 mm también permite obtener imágenes de muestras que no son obleas finas de silicio. La etapa XY tiene una resolución de 1 µm y una precisión de reposicionamiento unilateral de 2 µm que permite un posicionamiento preciso de la muestra bajo la punta.
El Alphacen 300 incluye un potente software de automatización que permite al usuario preseleccionar los lugares de interés, ya sea en una imagen óptica o en un mapa escénico, y dejar que el sistema recoja las imágenes sin intervención del usuario.
